二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9241856 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45是一款asher/etcher,旨在获得最高的产品产量和最低的拥有成本。它能够一批处理多达五种不同的晶片尺寸，处理速度高达每小时100,000晶片。该系统利用新型改进的微型扇形梁分布源，提供了更好的光束均匀性。该系统采用高速、高效蚀刻，可选范围为30至150微米。ONTRAK 2300 Kiyo45提供多种设计和处理选项,以确保对每个应用程序进行精确处理。它具有先进的晶圆处理能力，包括单位晶圆处理器，以及子角度可编程蚀刻（SPE），它自动调整光束的角度以保持蚀刻均匀性，并消除对污染物的暴露。它还具有温度范围为-30度至+150摄氏度的基板和晶圆温度监测以及+7.5和-10.0度的晶圆倾斜调节角度。LAM RESEARCH 2300 Kiyo45高度自动化,具有自动装卸和对齐、LF载体和配方管理功能。它还具有高端缺陷检测能力，能够检测表面污染和蚀刻后缺陷。它还具有高性能3D晶圆映射功能,可用于提高工艺产量。2300 Kiyo45是一种多功能、高性能的asher/etcher解决方桉,可轻松集成到现有和未来的生产环境中。它具有先进的安全功能，为操作人员提供方便的用户界面，便于设置和操作。利用先进的光束和蚀刻技术，它提供了一致的结果和优化的产量。