二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9245885 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Kiyo45是一种asher/etcher,用于减法过程,在基板上创建小型化特征。它配备了两室设计，允许用户同时蚀刻不同的层，而不必停止过程，用新的基板重新装入腔室。该Kiyo45具有21英寸、高分辨率的X-Y级,速度是其前身的两倍,并具有机动化级,可快速精确地重复性以优化过程。该Kiyo45是一种减法加工蚀刻器,设计有上下两个反应器.上腔配有感应耦合等离子体（ICP）源，由射频电源和源腔组成。ICP源提供了高密度的射频等离子体，非常适合金属和其他硬质材料的蚀刻。下腔配有高密度、高功率、低压等离子体（DPP）源。DPP源用于蚀刻各种材料，从陶瓷到薄膜和树脂。该Kiyo45还带有一个自旋到夹具（STC）卡盘，以提供均匀的晶圆接触和防止在处理过程中损坏。此外,Kiyo45还配备了无粘滞、1000步/秒的X-Y机动化级,以最大限度地提高工艺速度和精度。此外，X-Y阶段响应快，可重复进行快速、精确的工艺优化。该Kiyo45配备了功能强大的多视图查看系统,用户可以通过实时数据查看来控制和监视过程。随附的CONTROL ESC软件包为用户提供了对各种蚀刻参数的控制，如射频功率、压力、气体流量和定时序列。Kiyo45蚀刻器是在各种基板上生产微结构的可靠而坚固的工具。它是为经济高效的操作而设计的，是薄膜层蚀刻、多种基材以及先进工艺开发和研究的理想解决方桉。