二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9255632 待售

LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45
ID: 9255632
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
Etcher, 12" 2011 vintage.
LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Kiyo45 Etcher/Asher是一种多功能、紧凑、双室设备,用于粉刷、蚀刻和溅射薄膜,需要精确的处理控制和可重复的结果。该系统采用6英寸、30微米的插槽喷嘴设计,用于产生用于蚀刻和溅射应用的等离子体。ONTRAK 2300 Kiyo45是一个全自动单元,具有自动关闭真空安全门和用户友好的液晶彩色触摸屏操作。该机器由PLC控制,为用户提供准确的控制和可重复的过程结果。LAM RESEARCH 2300 Kiyo45包括两个独立控制的阶梯式会议厅,提供对申请过程的精确控制。每个腔室都能独立控制温度、压力和射频功率。这允许用户精确控制蚀刻和溅射过程,以确保获得最佳效果。2300 Kiyo45配备了大容量液体供应工具,可将蚀刻剂精确地直接分配到烧杯中。两区循环液体资产可进行温度控制和单独加热。此功能可确保以精确的结果执行蚀刻和溅射过程。LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45除了阶梯式腔室和液体供应模型外,还配备了高速、射频驱动的冷却设备,以防止加工过程中发生热损坏。该系统的风扇冷却排气装置可以有效地排出所有加工气体。ONTRAK 2300 Kiyo45还包括一个内置洗涤器,用于防止有害过程气体吸入的最佳性能。LAM RESEARCH 2300 Kiyo45 Etcher/Asher是需要从蚀刻和/或溅射过程中获得精确、可重复结果的用户的理想选择。其紧凑的设计和易于使用的触摸屏界面使其非常适合需要精确控制和可重复结果的蚀刻和溅射应用。
还没有评论