二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9255637 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Kiyo45是一种蚀刻/灰化设备,用于集成电路的精密蚀刻和灰化。它是一个高度可靠的高级系统,专为流程开发和自动化生产应用程序而设计。它能够实现很高的均匀性和非常低的排空水平。该单元由一个有两个电极、一个加热器、一个控制器单元和一个气体喷射机的真空室组成。气体注入工具用于确保较高的蚀刻速率，腔室配备特殊的等离子体清洗系统，确保清洁的蚀刻过程。腔室可容纳高达8英寸的晶片，加热器范围为-20°至400+°C。控制器单元能够控制蚀刻过程的所有参数，如温度、压力、气流、蚀刻时间等等。该资产能够蚀刻硅、氮化硅、多晶硅等多种材料。它也可以用来蚀刻透硅vias，或TSV，形成3维集成电路。该Kiyo45具有45nm蚀刻深度和1-200 nm蚀刻分辨率。它还具有从10-7 torr到1 torr的真空等级。该模型能够在整个晶片上提供高度均匀的蚀刻，并且具有高度可重复的过程。其可选的工艺监控设备允许实时反馈蚀刻工艺。它还具有多种安全功能,例如多个互锁区域和专门的擦洗系统,旨在保护用户免受危害。Kiyo45系统也是一个环保单位，因为它符合所有适用的环境法规。它不需要任何危险的化学气体，蚀刻过程中产生的任何危险颗粒都会被迅速洗去。总体而言,ONTRAK 2300 Kiyo45是一种可靠且用途广泛的蚀刻器/asher机器,非常适合集成电路和其他光刻工艺的精密蚀刻。它非常适合过程开发和自动化生产操作,而且环保。