二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9258553 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45是一款专为高端半导体加工应用而设计的最先进的蚀刻器/asher。该装置支持多种蚀刻工艺，包括干蚀刻、湿蚀刻、氧化物蚀刻和等离子体蚀刻。它也有能力进行灰化操作，如氯基灰化和氮基灰化。该Kiyo45具有许多特点，使其非常适合复杂的半导体蚀刻和灰化任务。它的自动化过程控制包括一个直观的图形用户界面（GUI），用于编程序列和精确轻松地控制所有参数。它还具有动态控制和快速响应对微调工艺参数的即时优化蚀刻和灰化效果。该Kiyo45配备了一个强大的射频发生器，可以在大型晶片上进行极好的均匀蚀刻。其独特的热墙配置优化了整个晶片表面的蚀刻均匀性，即使使用大型晶片也能延长加工时间。该Kiyo45是开发特殊蚀刻工艺的理想选择，如用于先进MEMS应用的深层等离子体沟的等离子体蚀刻。它全面的硬件和软件升级使其能够处理最具挑战性的流程要求。它还拥有先进的安全系统，以确保最终的过程控制和极高的安全水平。该Kiyo45是当今最受欢迎的蚀刻机之一。它是一种可靠、经济高效的解决方桉,可满足各种蚀刻和灰化需求。其直观的用户界面、动态控制、功率射频发生器、热墙配置，使其非常适合生产高质量的半导体元件。