二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9312590 待售
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已售出
ID: 9312590
晶圆大小: 12"
优质的: 2009
Etcher, 12"
(3) Poly
FI Type:
Signal tower: 3-Color
(3) Loadports
ATM Robot
(13) Buffer station: 25-Slots, single buffer station
Aligner
TM Configuration:
Loadlock: (2) Loadlocks / 4-Slots cool chamber
BROOKS Magatran 7 Robot
(4) Rocker valves, P/N: 853-007859-9223
HPS 970 TM Pressure gauge
MKS 640 Control
Loadlock pressure gauge: Hasting
Process module for PM1 / PM2 / PM3:
MKS Pressure gauge, 0.1Torr
VAT 65048-PH52-ADR1 Throttle valve
EDWARDS STP-XA2703CV Tubo pump
ADVANCED ENERGY Apex 1513 RF Generator, TCP
ADVANCED ENERGY Apex 1513 RF Generator, Bias
Gas panel:
Type: IGS
16-Channels
MFC Type: SEC-Z313M
Gas / Range
CF4 / 50 SCCM
CH2F2 / 50 SCCM
H2 / 100 SCCM
SF6 / 10 SCCM
Ar / 500 SCCM
N2 / 100 SCCM
CHF6 / 200 SCCM
C2F6 / 200 SCCM
CF4 / 200 SCCM
SF6 / 200 SCCM
He / 500 SCCM
O2 / 200 SCCM
O2 / 20 SCCM
Cl2 / 200 SCCM
HBr / 50 SCCM
HBr / 500 SCCM
Power supply: 208 VAC, 3 Phase / (4) wires, 500 Amp, 50/60 Hz
2009 vintage.
LAM RESEARCHY/ONTRAK 2300 Kiyo45是一种蚀刻/asher工具,旨在生产具有亚微米特征尺寸的高精度微结构。此工具能够在单次通道中蚀刻/灰化多达5密耳（127.0 μ米）的材料,并处理尺寸可达12英寸（305.8毫米）的基板。它具有两条独立的气体路径，允许蚀刻金属和非金属薄膜以及合金。该工具还具有令人印象深刻的± 0.005毫米（0.0002英寸）的精度和± 0.001毫米（0.00004英寸）的可重复性，使用户能够快速高效地生产高质量的元件。蚀刻器/asher单元配备了双源等离子体源，它提供了广泛的蚀刻轮廓和均匀的蚀刻速率。它还有一个15 W的CO2激光器，可以在零件上涂上激光标记，并具有高分辨率的相机来监视激光束。ONTRAK 2300 Kiyo45采用具有高频（HF）选项的高级射频（RF）电源,可实现更高的模式重复性并提高生产吞吐量。LAM RESEARCH 2300 Kiyo45具有用户友好的功能,包括彩色触摸屏界面、自动基板识别、工艺优化参数以及广泛的工艺设置。它还具有快速准确的视觉系统，可提供精确的ID检测和视觉辅助底物对准。该工具旨在减少与粒子相关的缺陷并最大限度地提高吞吐量,并且可以定制以满足客户的特定蚀刻和灰化需求。2300 Kiyo45非常适合生产高长宽比、特征尺寸小、后蚀刻残留量最小的超细结构，非常适合平板显示器、航空航天部件、医疗设备部件等多种制造应用。LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45以其精密的蚀刻控制、卓越的精确度和多功能性相结合,是寻找可靠、精密的蚀刻工具的人的理想选择。
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