二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9399261 待售
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ID: 9399261
晶圆大小: 12"
优质的: 2009
Poly etcher, 12"
Signal tower
(3) Loadport
ATM Robot
(13) Buffer station
Aligner
Loadlock: 2LL / (4) Slot cool chamber
Robot: Brooks megatran 7
Rocker: 853-007859-9223 / MKS 640
LL Pressure gauge: Hasting
Power supply: 208VAC, 3 Phase / 4 Wires, 500 AMPs, 50/60Hz.
2009 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45是生产半导体晶片的高速高效等离子体蚀刻/灰化设备。即使是最复杂的结构,包括致密和直接阵列的晶体管,它也能干净准确地处理。该Kiyo45具有先进的组件,包括双旋转源、高达每小时200个晶圆的高吞吐量、多运行温度控制、改进的晶圆预对准精度以及轻松、全自动的系统集成到现有生产线中。该Kiyo45采用双源等离子体蚀刻/灰化工艺生产具有先进特性和精确度的半导体晶片。这个过程开始于将一个多达200个晶片的蜡烛棒堆栈装入Kiyo45。然后,该单元的双旋转源产生一个高能等离子体,该等离子体被精确控制,以实现可重复性和准确性。这种等离子体通过嵌入的静电屏蔽直接穿过晶片,去除所需的材料。此外,Kiyo45的温控机可以用来精确调整蚀刻速率和选择性,让用户对自己的过程进行微调以获得最佳效果。此外,该Kiyo45旨在提高预对准精度。Kiyo45使用内置图像识别技术来准确识别单个晶片并在蚀刻前对其进行对齐。此高级工具消除了手动对齐的需要,从而减少了潜在的对齐错误。该Kiyo45还包括快速的蚀刻后完整性检查,确保所有加工晶片的质量。ONTRAK 2300 Kiyo45是高级蚀刻/灰化工艺的理想选择。它具有最先进的元件和先进的特性,可以轻松高效地生产出高精度的半导体晶片。资产的双旋转源和温度控制模型允许用户精确控制蚀刻过程,提供无与伦比的结果。此外,其自动晶片预对准和后蚀刻检验过程确保了所有离线产品的质量保证。最后,Kiyo45是任何蚀刻/灰化工艺的理想选择。
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