二手 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9407033 待售
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LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45是一种高效可靠的蚀刻器/灰尘设备。它是一个多室平台，可以在单个晶片上处理多种工艺，设计目的是满足商业和军事应用生产和开发的严格要求。Kiyo45系统有几个多用途的房间，有一套全面的功能和特点。它具有单个打击式真空泵和高压等离子体源，可以完成各种材料表面的蚀刻、灰烬和介电涂层工艺。这种特性的组合使得它非常适合广泛的专业应用，如硬面膜蚀刻、气隙沉积、小孔或深特征形成以及传感应用。该单元配有一套广泛的加工室，包括前室、主加工室、后蚀刻/灰室、后蚀刻/灰/介电室以及专用PDMS干燥室。机器提供了一个高级的灵活性级别，允许广泛的过程参数，包括独特的配方，可以创建和存储在配方库。交替压力主加工室能够达到高达1000 mT，以容纳各种各样的基材类型和蚀刻配方。Kiyo45工具采用集成的过程控制和用户权限资产进行设计,使操作员能够定制介电蚀刻、灰分和沉积配方,以满足其特定的工程需求。这还得到内置电源监控模型的进一步支持,该模型允许用户监控设备的功率输出并进行相应调整,以确保安全的过程和最佳的结果。此外,系统还配备了数据记录和分析软件,使操作员能够跟踪和分析与这些过程相关的过程参数,如基材温度、薄膜厚度和蚀刻速率。ONTRAK 2300 Kiyo45是一个先进而高效的蚀刻器/asher单元,非常适合各种生产和开发应用。设计具有一套全面的功能和特点，这台机器能够精密地完成各种工艺参数。凭借其先进的流程控制和用户访问工具，以及数据记录和分析软件，该资产是任何蚀刻和灰烬模型需求的理想选择。
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