二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293589469 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一种干式蚀刻器或灰化器，提供高效、均匀的等离子体蚀刻或灰分沉积工艺。这一高通量处理单元是用于半导体、MEMS和电子工业的等离子体蚀刻、灰分沉积和透晶片均匀工艺的可靠解决方桉。ONTRAK Kiyo 45具有两区加工室，有一个大的主加工室和一个较小的第二室，用于预清洁和后清洁处理。主室具有平整的蚀刻目标级，能够支撑多达20个基板。目标级还具有基片到晶圆的映射功能，以确保整个晶圆的均匀沉积。该装置还包括石英衬里和原位等离子体清洗系统，用于精确控制蚀刻或沉积速率和均匀性。LAM RESEARCH Kiyo 45可以使用无真空或高真空工艺操作。可以使用广泛的气体和气体溷合组合，允许加工GaAs、SiGe、AlN和类似金刚石的碳等材料。该系统还包括一台自动射频/直流发电机，可精确控制蚀刻或沉积速率。在安全性方面，Kiyo 45在紧急情况下具有自动关闭功能，而内置真空监控器和离子敏感探测器则为蚀刻过程提供了一种放手的方法。此外，多种安全特性，如气体泄漏监控器、无火花净化阀和高频泄漏检测器，为装置的整体安全性增添了活力。最后，LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一种交钥匙蚀刻器/灰化器，旨在为广泛的应用提供高效、可靠和均匀的等离子体蚀刻或灰分沉积工艺。ONTRAK Kiyo 45的安全性和吞吐量特点,以及其易于使用和集成到各种生产和研究操作中,使其成为寻求可靠的高吞吐量蚀刻或沉积工艺的用户的绝佳选择。