二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293589472 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一款高级蚀刻器/asher，专为硅、氮化物、石英、玻璃和类似材料等材料的高端加工而设计。功能齐全的加工室设计了一个矩形石英板和一个更大的转盘，以允许用户控制晶片的定位。这台机器能够蚀刻和粉刷各种尺寸达18英寸的材料。它采用了一系列全面的工艺能力，包括工艺室、晶圆传输和机器人自动化系统。ONTRAK Kiyo 45是一款完全兼容的工艺工具，配备了TCP负载锁定和先进的等离子体蚀刻处理能力。它还配备了独立的控制设备，允许对系统参数进行定制，以满足特定的应用需求。本机采用陶瓷烧制元件，为晶圆加工提供精确的温度控制。它支持多种蚀刻和灰化工艺,允许提高生产产量和质量控制。LAM RESEARCH Kiyo 45提供了一个自动晶片处理单元，包括晶片加载、运输和卸载，以及自动等离子体源控制。这台机器的等离子体源可以处理广泛的蚀刻和灰化参数，使用户可以轻松定制自己的流程，以满足他们特定的应用要求。它还提供了一台用于监控流程参数的高级机器，以确保高效、安全和可重复的流程。Kiyo 45包括一个可选的净化室，以防止工艺气体和空气传播颗粒的交叉污染。该工具还配备了收集副产品的强大排气资产。模型可以配置为手动或自动操作，允许用户为自己的特定程序选择最佳处理方法。设备的集成高频发电机和后处理系统也允许控制烧蚀蚀刻材料。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款高度先进的蚀刻器/asher，适合广泛的应用。其先进的工艺室，自动化晶圆处理和强大的排气单元为高效处理提供了一个用户友好的环境。增加的TCU负载锁和等离子体源提供了灵活性，而其集成的高频发电机、净化室和后处理机则保证了精度和可重复性，产生了优越的工艺效果。