二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293589528 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一款蚀刻器/灰烬器，设计用于对III-V元件、超薄晶片、硅集成电路（IC's）等高价值基板进行精密湿蚀刻。这种最先进的蚀刻器/分类器为重新设计和修改现有产品的自上而下的功能提供了解决方桉,并实现了高级设备体系结构的潜力。ONTRAK Kiyo 45由两个主要部件组成-工艺室和控制设备。加工室是一个精密制造的不锈钢外壳，包含激发源和热区，并利用再循环蚀刻溶液。其设计特点包括满足高性能真空需求的不锈钢外壳、最小化振动的悬挂重量系统和针对最高温度均匀性进行优化的底板。由双激发源产生的高性能喷水喷射羽流对易损害集成电路（IC）材料具有良好的对齐和可重复的特征几何形状,具有低温处理能力。LAM RESEARCH Kiyo 45的控制单元由高性能、嵌入式自动化引擎、实时监视器和安全联锁机组成。该工具提供了对从A到Z的蚀刻过程的全面控制,包括配置文件和一步过程设置、实时过程监视和控制、用于保护的资产和硬件级别联锁,以及用于高价值基板蚀刻的几种高级过程配方。用户友好的图形界面可方便地访问流程参数,实时显示流程状态,并提供所有流程参数的完整诊断。Kiyo 45符合CE标准,完全自动化,并且需要最少的操作员干预,以确保可重复性和过程重复性。该蚀刻器可有效地用于对现有组件进行高精度的重新设计和修改,并实现需要深层特征的设备体系结构。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45还提供安全联锁模型和嵌入式监控功能,有助于确保一致、高质量的结果。此外，它还可以有效地用于地沟蚀刻、晶圆稀释、光掩模修复和可靠的MEMS器件制造等各种应用。