二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293589530 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一款由业界领先者ONTRAK製造的精密蚀刻/asher设备。它采用了先进的氙等离子体技术，能够对半导体晶片进行精确的蚀刻和灰化。ONTRAK Kiyo 45的专利设计利用RF发电机、涡轮泵、数字电子控制器等先进的机电元件，以卓越的精度和可重复性处理所需的基材。用户界面直观、人性化，使操作员能够快速、轻松地选择蚀刻和ashing参数、工艺配方等变量，实时监控系统性能。LAM RESEARCH Kiyo 45的等离子体源具有卓越的能效，在整个基板上提供出色的蚀刻速率和均匀性。射频发生器坚固耐用,可提供高达15 kW的功率,而且质量蚀刻过程的能量损失很小。热管理单元与Kiyo 45集成在一起,可在大型蚀刻/灰烬工作负载上快速周转。这台机器已被证明可以在大量蚀刻/灰烬体积的工作负载期间将晶圆温度升高幅度降低到6°C。LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45由LAM RESEARCH Clario平台提供支持,可实现高级配方开发和深度追踪精度,以确保数据安全性和合规性。其广泛的配方和工艺室工艺设计，以确保无论基材和所需的参数，ONTRAK Kiyo 45可以提供。LAM RESEARCH Kiyo 45是一款可靠、功能强大的蚀刻/asher工具。它非常适合广泛的蚀刻和灰化应用，从研发到批量生产，从MEMS设备到先进的半导体产品。凭借其无与伦比的精度、性能和可靠性水平，Kiyo 45是材料加工的完美选择。