二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293589654 待售

LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45
ID: 293589654
优质的: 2011
System 2011 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款高级蚀刻师/asher。它提供卓越的性能、较低的每晶片成本和可靠的蚀刻/灰化工艺。ONTRAK Kiyo 45是一种高速、多区域蚀刻/灰烬,能够从直径2英寸到8英寸蚀刻/冲洗晶圆。它配备了双区腔室和允许高通量和低循环时间的大型加工腔室。双区域腔室提供高精度、一致的蚀刻/灰化参数。LAM RESEARCH Kiyo 45提供高级工艺控制功能。它配备了一个可编程的、伸缩的输送机,将晶片移入加工室。这种输送机可以被编程为在各种位置移动和保持晶片,从而为蚀刻/灰烬提供精确和可重复的定位。Kiyo 45还具有种类繁多的基材,包括石英、多晶硅、硅、金属和电介质。它支持高达950°C的工艺温度和高达170 torr的压力。LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45能够同时进行批处理和单晶圆处理。它具有远程流程监视功能,使用户能够从远程位置监视流程进度。ONTRAK Kiyo 45还具有真空过程压力控制、闭环腔室温度调节、闭环过程化学控制等特点。它配备了最先进的彩色图形用户界面和可选的Windows计算机控制器。LAM RESEARCH Kiyo 45专为最高可靠性而设计,并有全面的保固作为后盾。其设计基于先进的工艺集成,便于维护和操作。它还具有高级诊断功能,能够快速准确地进行故障排除。总体而言,Kiyo 45是一款功能强大、可靠且经济实惠的蚀刻器/asher,可为各种流程提供卓越的性能和附加值。
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