二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293652871 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款为各种材料加工而设计的asher/etcher。它有一个直观的自动化控制系统，一个先进的源/目标室能够工作基板500毫米的尺寸，和先进的数字计量精密处理。利用ONTRAK获得专利的传感器融合技术实现的先进数字计量包自动调整了配方的准确性和可重复性参数。ONTRAK Kiyo 45具有先进的源/目标室，能够工作的底物尺寸可达500毫米，化学种类广泛。它还配备了连续实时评估过程状态的过程窗口监控包，其过程控制系统（PCS）自动调整任务参数，以提高可重复性和质量。可采用微型真空、远程真空和温度均匀性等先进气流控制配件的附加封装，进一步优化工艺性能。LAM RESEARCH Kiyo 45具备业界领先的功能,能够实现业界领先的准确性和可重复性。其先进的材料兼容性和工艺控制功能使用户能够针对技术上具有挑战性的材料和基材优化蚀刻速率。它支持广泛的蚀刻化学，因此可以用于所有类型的蚀刻应用。此外,它的自动端点检测功能能够更快地检测蚀刻端点和更一致的产量。Kiyo 45是为最大的正常运行时间和运营效率而设计的。它采用革命性的低维护设计,能够快速轻松地清洁组件,而且维护的停机时间最短。此外,它的高级计量套件使用户能够快速评估过程结果,从而最大限度地减少了对校准或配方调整的需求。总体而言,LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款功能强大且可靠的蚀刻器/asher,旨在处理多种材料。其先进直观的控制系统、广泛的化学、工艺窗口监控以及革命性的低维护设计，使其成为精密加工和提高运行效率的理想选择。