二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9098962 待售
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ID: 9098962
Poly etcher, 12"
Signal tower: (3) Colors
SMIF(EFEM)
(3) Poly etch chambers
(1) MWAVE STRPR
(3) Load ports
(1) ATM Robot
(1) Buffer station
(25) Slots
(1) Aligner
(2) Load locks
(4) Slot cool chamber
Megatran7 / Broooks transfer robot
Etch chamber
TM Pressure gauge: HPS Series907 / MKS
TM Pressure control: MKS Series640
LL Pressure gauge: Hasting
Model of chamber: 2300 Metal
Model of pressure gauge: MKS, 0.1Torr
Model of throttle gate valve: 65048-PH52-ADR1 / VAT
Model of turbo pump: STP-XA2703CV/Edwards
Model of TCP RF generator: APEX1513 / AE
Model of bias RF generator: APEX1513 / AE
MW Chamber
Model of chamber: 2300 MWAVE STRPR
Model of throttle gate valve: MKA, 253B-24836
Model of vaporizer: MKS, VODMB33CRIBE
Model of MW generator: Revolution, 7690LAM-23
configuration of MFC: Ar 2SLM, O2 5SLM, N2 1SLM
Configuration of gas panel, etch chamber
Type of gas panel: 16-Line IGS block
(16) Gas channel
Model of MFC: SEC-Z313M
Configuration of gas:
CF4 50sccm
O2 20sccm
CL2 200sccm
CH2F2 50sccm
HBr 500sccm
He 500sccm
O2 200sccm
H2 100sccm
SF6 10sccm
Ar 500sccm
HBr 50 sccm
C2F6 200sccm
CF4 200sccm
SF6 200sccm
N2 100sccm
CHF6 200sccm
Configuration of AC rack:
208VAC 3ph (4) Wires 400 AMPS 50/60Hz
Missing parts: Load ports
2007 vintage.
LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45 Etcher/Asher是一种硬件，设计用来在基板上蚀刻或沉积薄膜。该单元是一种单室、单晶片设备，利用等离子体源技术，达到优越的蚀刻和灰化效果。它能够处理各种晶圆尺寸，直径从2英寸（50毫米）到8英寸（203.2毫米）。加工室是一个密封的不锈钢外壳，装有石英顶壁。这样可以快速加热和冷却,并确保与腐蚀性和危险性材料兼容。该腔室具有独特的双板设计，可实现更好的工艺隔离和控制。它还配备了精密的压力传感器，以保持工艺的完整性和屈服。ONTRAK Kiyo 45还提供先进的等离子体源技术，产生广泛的功率水平和工艺配方灵活性。它允许同时蚀刻和灰化,而不会损坏底物,并提供超薄膜蚀刻和沉积,以及定向和各向异性蚀刻。该机组还配备了坚固的真空系统，允许快速疏散和优化处理时间。LAM RESEARCH Kiyo 45拥有高度的自动化和操作员控制。它提供直观的图形用户界面（GUI）和功能齐全的数据管理功能。它提供了先进的过程监控和跟踪，以及详细的配方召回和可重复性。与兼容的ONTRAK工艺套件配合使用时,Kiyo 45提供了完整的蚀刻和灰化解决方桉。这包括电源、气体输送单元、视觉机器、射频工具、电子机柜和其他附件。凭借其强大的软硬件组合，LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45可以蚀刻和沉积薄膜，从而取得优异的效果。
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