二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9281381 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一款具有热线技术的桶形蚀刻器，能够蚀刻直径达45mm的晶圆。设备配备了940升的腔室，可以方便高效地处理各种材料。该腔室还配备了集成晶片加载系统，允许一次最多自动放置12个晶片。ONTRAK Kiyo 45提供大小晶片的高精度蚀刻，这要归功于它对温度、压力和流速等过程变量的优越控制。该单元配有自动张力控制机，确保晶片在蚀刻过程中固定到位。此外，可以对蚀刻循环进行精确编程，从而能够精确控制蚀刻速率和表面光洁度。蚀刻过程是在真空中进行的，这样可以实现蚀刻结果的最高精度和清洁度。该工具还配备了背面加热器，可用于控制晶圆背面的温度，确保两侧均匀蚀刻。LAM RESEARCH Kiyo 45还配备了一系列先进的安全功能，包括用于监测蚀刻气氛的有源氧气传感器和紧急关闭阀。此外，该资产既节能又环保，因为它旨在减少废气和可回收化学品。除了蚀刻服务外，Kiyo 45还可用于多种其他服务，如涂层、金属化、加热加工等。该模型的灵活性使其成为许多制造和研究应用的理想选择。