二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9298318 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款为半导体工业中的应用而设计的蚀刻器/asher。适用于对包括硅、铜、铝在内的一系列材料的薄膜进行蚀刻，用于半导体器件的制造。ONTRAK Kiyo 45具有高达每小时4,500晶圆的高容量，使其成为市场上最高效的蚀刻器之一。该设备采用超低压技术,可提供出色的蚀刻速率均匀性。通过控制蚀刻速率上下生成垂直轮廓，LAM RESEARCH Kiyo 45的原位RIE系统允许用户同时蚀刻多层，显着减少蚀刻周期时间。Kiyo 45还使用了一种获得专利的恒压蚀刻技术（CPET）,该技术可确保不管单位变化如何都具有一致的蚀刻速率,从而在市场领先的步骤覆盖范围和特征轮廓控制方面提供了极好的一致性。此外，LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45配备了高分辨率图像查看器，以及高分辨率光发射光谱仪（OES）。OES工具提供实时流程监控，使用户能够监控蚀刻流程的进度。此外，ONTRAK Kiyo 45具有气流控制资产，用户可以精确控制蚀刻过程的参数，以确保最佳效果。LAM RESEARCH Kiyo 45还采用风冷室结构，有助于确保安全、清洁和可靠的操作。该模型由先进材料设备（AMS）构建而成,满足了业界最高的性能要求。Kiyo 45还配备了一系列先进的安全功能，如远程操作系统、自动化安全功能和可编程过程参数。总体而言,LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款先进的蚀刻器/灰化器,旨在满足半导体行业最苛刻的蚀刻和灰化要求。其先进的AIR COELED结构、超低压技术和高分辨率图像查看功能使其成为任何半导体制造工厂中必不可少的工具。