二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9298319 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是为精密微加工应用而设计的先进蚀刻和灰化设备。ONTRAK Kiyo 45是一个集成系统,它将两个独立的过程（无功离子蚀刻（RIE）和深灰）结合在一个平台中,以提供最大的工艺效率和性能。利用单个高压处理室，该单元可以同时或单独操作两个过程，以实现多层膜蚀刻和灰化。LAM RESEARCH Kiyo 45的设计目的是在最大底物尺寸为6.5 "x 6.5"的情况下达到最佳工艺效果,并在蚀刻速率均匀的情况下实现高水平的可重复性。它具有AutoGain Control机器，每次都能保持过程室的功率，以改进过程控制和可重复性。增强的磁悬浮涡轮泵也降低了振动水平，以更精确的处理。Kiyo 45还提供了出色的蚀刻轮廓控制,因为它具有可调整的气体流速,以及一个可编程控制器,它允许用户单独修改过程参数,如压力、总流量和气流组成。该工具还提供了存储、召回和执行任意数量的用户定义进程流的灵活性。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45除了提供精确的控制和高精度外,还为在处理过程中保护用户、操作员和环境提供了许多安全益处。它具有三级监视传感器监视资产,用于检查流程每个阶段的安全级别,以防止发生事故。该工艺室完全封闭在氮素覆盖模型内，以确保操作过程中化学蒸气的安全密封，其材料兼容性防止危险材料的潜在危害。ONTRAK Kiyo 45的集成过程控制设备提供直观的用户控制,以实现高效的操作和方便的维护。该系统还提供远程访问服务和改进，以及用于进一步分析蚀刻过程的高级测量工具。归根结底,LAM RESEARCH Kiyo 45为微加工应用程序提供了可靠的平台,为用户提供了性能和灵活性卓越的高级蚀刻和灰化解决方桉。