二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9299367 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一款高效多用途的批量蚀刻器/asher,专为制造高质量、可靠的半导体器件结构而设计。ONTRAK Kiyo 45具有独特和先进的蚀刻能力,专为生产复杂的器件几何形状而设计,能够制造出最先进的半导体器件。LAM RESEARCH Kiyo 45配备了一个电源，能够产生100kV的Vmax输出电流，蚀刻速率高达30nm/min。电源还提供了可控的蒙版间隙和剂量参数，用于更精确的蚀刻和保形蒙版。先进的腔室和线圈设计提高了蚀刻图样的均匀性和最小化的粗糙度。Kiyo 45还具有最大120mm晶圆的较大腔室尺寸、更大容量的交流以及长达109秒的延长停留时间设置。LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45具有自动电动负载锁和机器人晶片传输系统结合触摸屏操作员界面，能够高效处理晶片，操作方便。此外，操作员界面还提供晶圆位置和蚀刻状态的实时反馈。先进的喷嘴控制允许宽光束角度,提供更高的蚀刻均匀性,以及更好的分辨率和更低的尖端损坏和漂移风险。ONTRAK Kiyo 45提供高度纯度和安全性，具有集成的迷你洁净室、低调和自动气流控制系统以及集成的真空安全阀，以防止任何危险气体泄漏。还提供了现场清洁和清洗系统，以消除来自外来颗粒的晶圆污染。Kiyo 55也符合RoHS标准,可提供额外的安全和环境效益。LAM RESEARCH Kiyo 45是为高端半导体製造而製造的精密蚀刻/asher。Kiyo 45提供了一系列高级功能,例如自动电动负载锁、改进的蚀刻图桉均匀性、延长的居住时间以及高水平的安全和纯度。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是制造最先进的半导体结构和器件的完美器件，可靠性和准确性最高。