二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9311233 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一种蚀刻器/ashier，设计用于光刻、光刻、晶圆制造和其他半导体制造。这种蚀刻器/ashier为基板上图样的开发提供了优越的工艺控制。该设备能够提供精确、可重复的蚀刻和灰化结果,并具有最佳的蚀刻使用。它经济高效且易于使用,并且可以快速设置和操作,而且培训很少。ONTRAK Kiyo 45具有四室设计，包括专用的预蚀刻、蚀刻、灰烬和冲洗室。预蚀刻室允许将光刻胶的干膜均匀涂抹到基材上，而蚀刻室则可在暴露于特定图样后蚀刻掉多余的光刻胶材料。灰室除去灰烬残留物，最后冲洗室清洗淹没基材，为下一步做准备。LAM RESEARCH Kiyo 45还包括独特的软件功能，以帮助支持整体蚀刻和灰化过程。该设备内置3D数据采集和分析软件，可实现精确的模式识别和可重复的蚀刻/灰化操作。它还具有作业调度、配方重新映射、自动蚀刻/灰化优化和作业监控功能。软件系统高度用户友好，旨在使整个单元更易于使用和管理。Kiyo 45还提供多种物理和化学构型，以适应各种工艺要求。它配有精密的过程控制器、气体输送系统和抛物线天线。其先进的气体输送系统提供可靠的性能和精确控制蚀刻/灰化气体流动。最后，其抛物线形天线为精密蚀刻应用提供了温度控制环境。最后,LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款先进的蚀刻器/ashier,旨在提供优异的性能和准确的结果。它非常适合广泛的工艺应用，从光刻到晶圆制造。该机器的精确、可重复的蚀刻/灰化功能、用户友好的软件套件以及先进的物理和化学配置使其成为半导体制造的理想选择。