二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9314592 待售

LAMLAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一种在半导体加工中使用的蚀刻/asher设备。它是一个多用途的系统，设计为能够做蚀刻，灰化，和光致抗蚀剂去除。该单元是一种倾斜型机器，具有三个处理室，每个处理室可用于执行各种任务。机器有清洁托架支撑工具、湿法加工模块和干法加工模块。清洁托架支撑资产旨在处理晶片而不受环境污染。这是通过使用去离子水、Class-100空气过滤、离子植入器和半导体机器人，在不产生任何尘埃颗粒的情况下快速移动晶片通过腔室来完成的。ONTRAK Kiyo 45型湿法模组能够进行多种湿法蚀刻及湿法灰化程序。这是通过包含高速泵、高压输送设备、地面故障保护系统和阀门集群而实现的。LAM RESEARCH Kiyo 45的干法模组设计进行多蚀刻、灰化、清洁程序。它包括三个独立的加热器，每一个都可以用来维持不同过程的不同温度。该单元还包括一个高速机器人，用于在腔室之间快速转移晶片。Kiyo 45机使用方便，维护最少。它是由一种高级不锈钢材料为耐用性和可靠性建造。该工具的控件和接口是直观的,旨在使过程尽可能高效。资产还包括范围广泛的处理参数，可以根据最大结果进行精细调整。其设计符合所有行业标准和安全准则。总体而言，LAMLAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一个为半导体加工而设计的稳健的蚀刻器/asher模型。它是一种高效多用途的设备，可以在不影响质量的情况下执行一系列蚀刻和灰化程序。该系统还能够通过精细的可调参数和直观的控制系统实现极高的精度结果。对于寻求可靠、高效的蚀刻机/asher机的半导体制造商来说，这一单元是一个极好的选择。