二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9315258 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款为半导体工业设计的蚀刻器/asher。它能够在高温下对半导体材料进行蚀刻和灰化处理。它对工程师友好的设计使其易于设置和操作,而且用户培训很少。对ONTRAK Kiyo 45的设计进行了优化，以实现高质量、高速的工艺性能。利用高温石墨蒸发源对基板上的高纯度元素原料进行气化处理。这样就可以实现高达每小时50个晶圆的高吞吐量过程,并且薄膜厚度和均匀性变化最小。LAM RESEARCH Kiyo 45还包括一个可容纳多达16个晶圆的多区域可编程热板。这允许对多达五个不同区域进行精确的温度控制,从而可以在不同温度下蚀刻和灰化特定元素。Kiyo 45可以容纳广泛的晶圆尺寸和厚度，使其适合半导体工业中的各种工艺。LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45 蚀刻器/asher也设计用于自动化操作。它包括一个配方管理设备，允许用户轻松编程蚀刻和灰化参数，然后存储设置以备将来使用。该系统还提供来自过程的实时反馈,因此操作员可以确保满足所需的蚀刻和灰化参数。还包括一份全面的配方手册，为理解和设置适当的参数提供了一个简单的指南。ONTRAK Kiyo 45专为长期可靠性和成本效益而设计。它有一个先进的晶圆处理单元和自动清洗程序，以尽量减少颗粒污染和确保过程的质量。该机还设计用于易于维护的快速释放晶片对准器，可拆卸盖和易于维修的泵和传感器。总体而言，LAM RESEARCH Kiyo 45是一款先进的蚀刻器/asher，旨在满足半导体行业的需求。它提供了高质量、高速处理、多区域温度控制和易于自动化的组合，使其成为多种蚀刻和灰化工艺的绝佳选择。