二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9315260 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一款为高温基材加工提供精确性能的蚀刻器/asher。这种设备在半导体工业中用于从各种晶圆和基材中蚀刻和去除光致抗蚀剂。ONTRAK Kiyo 45利用专有的多室气体扩散室技术，以及高精度气体进料机构，更好地控制蚀刻过程。LAM RESEARCH Kiyo 45′s气体扩散室是专门为在蚀刻过程中使气体溶解和均匀性最大化而设计的，从而能够精确控制目标蚀刻速率。腔室的小尺寸也允许在高温下精确控制蚀刻速率。这种高温性能可用于蚀刻需要蚀刻温度高于650℃的高K介电材料，如二氧化铝、氧化铝或氧化硅层。Kiyo 45还具有精确的温度调节功能,可设置为+/-1℃以内,从而在蚀刻过程中提供精确的温度稳定性。该系统有一个集成的洗涤站，有助于进一步减少蚀刻周期过程中的残留。最新版本的LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45还提供了全自动蚀刻循环，用于精确的基板加工。ONTRAK Kiyo 45蚀刻器中使用的蚀刻气体通常为CF4、CHF3、O2或ArF,具体取决于要蚀刻的材料。设备的可选远程监视器可用,允许用户从任何启用Web的设备访问各种计算机配方和操作数据。总体而言，LAM RESEARCH Kiyo 45蚀刻机具有精密的基材加工、精密的温度调节和先进的蚀刻控制能力，是高温基材应用的理想选择。它具有自动蚀刻周期和远程访问各种配方和操作数据的能力,是蚀刻和研磨光刻材料的有效工具。