二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9351455 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款为半导体晶圆加工而设计的蚀刻/asher设备。它是Kiyo系列蚀刻工具的一部分，旨在通过精确控制和快速响应相结合的方式提供最佳的过程控制。ONTRAK Kiyo 45提供多种气体溷合物和两个独立的电源,提供一贯的高性能。LAM RESEARCH Kiyo 45设计用于蚀刻和灰化半导体晶片，同时保持所需的工艺参数。它具有两个独立的等离子体源和先进的气体输送系统，可提供可重复的过程结果。等离子体功率水平、压力、蚀刻时间、惰性气流等工艺参数可轻松调节监测，获得最佳效果。Kiyo 45还具有快速切换气体控制单元，它允许用户快速改变气体流动并实现所需的工艺参数。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45还配备了先进的真空机，提供精确的压力控制和室内的均匀性。在蚀刻过程中可以设置和监测腔室压力，以确保均匀和可重复的过程结果。因此，可以可靠地维持腔室内的压力水平和均匀性，以取得一致、可靠的结果。ONTRAK Kiyo 45还有一个用于均匀基材蚀刻的离子泵工具。LAM RESEARCH Kiyo 45提供了多种工艺选择，能够进行干式和湿式蚀刻、氧化物蚀刻、溅射蚀刻和化学蚀刻等蚀刻工艺。该资产旨在使用户能够轻松地在进程之间进行切换。此外,Kiyo 45还具有自动伺服控制功能,可实现精确的蚀刻速率,并具有用于过程监控的集成数据记录器。LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一个可靠且设计良好的蚀刻/asher模型，可以处理各种各样的半导体晶圆工艺。ONTRAK Kiyo 45凭借其先进的技术和专门的客户服务,提供了一个强大的解决方桉,可以提高流程窗口的效率和可靠性。