二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9351456 待售
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LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一种蚀刻/asher设备,使用反应性离子蚀刻对各种材料进行小规模的精密蚀刻。它体积小、重量轻,非常适合便携性和灵活性最重要的基准应用程序。该系统采用低压RF/DC溷合蚀刻室,可蚀刻尺寸不超过8 "x 10"的材料。ONTRAK Kiyo 45有一台25,000瓦的射频发电机,为蚀刻材料提供充足的动力,包括金属、非金属薄膜和任何厚度的介电材料。溷合控制单元精确优化蚀刻条件,确保在整个基板上产生高度均匀的蚀刻特性。机器具有自动基板加载/卸载功能,简化了设置过程。它还配备了一个自动涡轮泵,可以将蚀刻室快速排空到所需压力。此过程在不到5分钟的时间内完成。LAM RESEARCH Kiyo 45还具有先进的安全功能,可确保人员在蚀刻操作过程中的安全。这些安全功能包括射频屏蔽机柜、自动气体关闭阀、超出操作压力时可听到的警报以及用于处理任何超压情况的气体回收工具。总之,Kiyo 45是小规模蚀刻和灰化操作的理想选择,其中便携性和灵活性是最重要的。它配备了强大的射频发电机、自动基板装卸功能以及一系列安全功能,使其成为市场上最安全、最方便用户的系统之一。
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