二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9358668 待售

LAMLAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45是一款蚀刻器/asher，属于Kiyo系列独立和自动湿蚀刻系统的一部分。这种精密的微加工设备用于创建低至0.75 μ m的功能,并设计用于满足高级研究、开发和实验室应用的需要。该系统提供高精度蚀刻，蚀刻范围广，性能可靠，能够处理硅、蓝宝石、石英、聚合物等材料。ONTRAK Kiyo 45单元利用零通量隔离室在腔内创建高度控制的化学环境进行蚀刻。该腔室的设计目的是保持静止环境，并尽量减少蚀刻时受到污染的情况。LAM RESEARCH Kiyo 45还设有一个循环循环，以提供一致的温度和减少化学废物。此外，Kiyo 45还包括一个具有数字温度控制和独立的温度和化学浓度监测的循环处理罐，以及一个自动晶圆和船用盒式装载机。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45能够处理多达4英寸的晶圆,蚀刻速率高达4 μ m/min。该工具还配备了可编程配方资产，允许轻松定制蚀刻过程，并具有自动定时计时器和泵控制模型，允许可重复蚀刻操作。该控制器还具有带显示器的操作员界面和一系列用于蚀刻工艺开发和优化的控制选项。ONTRAK Kiyo 45易于安装和操作，并提供准确和可重复的蚀刻结果。它的设计是可靠和高效的操作，并具有低消耗的化学和功率。LAM RESEARCH Kiyo 45也为微加工研究提供了理想的平台，并轻松融入现有的研究设施，允许更快的工艺开发和提高性能。