二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9358691 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一种蚀刻器或asher，用于等离子体蚀刻和薄膜和涂层的灰化。该蚀刻器提供精确、可重复、高通量的蚀刻或灰化,并具有强大的射频功率输出,能够在基板表面上产生独立和同时的高质量蚀刻或灰化,而不会产生离子轰击。ONTRAK Kiyo 45蚀刻器采用模块化设计,可轻松集成到系统中。蚀刻器是具有两个独立等离子体源的双压力环境温度蚀刻器；一个蚀刻源和一个灰化源。这允许通过为两个过程提供一个孤立的单独环境来精确蚀刻和粉刷样品。该蚀刻器为每个工艺配备一个独立的射频发生器，以确保最佳蚀刻和灰化性能。该蚀刻器还有一个自动在线气体控制系统，用于蚀刻和灰化过程。LAM RESEARCH Kiyo 45蚀刻器配备了一个向上流动的、多区的加工室，专门设计用于优化具有广泛蚀刻化学和蚀刻条件的较大底物的蚀刻速率均匀性。蚀刻器还与各种蚀刻化学方法兼容，这种方法允许在各种材料上进行各种蚀刻工艺。Kiyo 45蚀刻器配备了先进的安全功能，以确保在安全的环境中执行所有流程。该蚀刻器配有用于大气过滤的内置通风室、确保健康工作条件的HEPA过滤器，以及保证长期耐用的不锈钢施工。蚀刻器还有一个先进的监控系统，可以对基板蚀刻和灰化加工进行准确的监控。LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45蚀刻器是一种功能强大且用途广泛的蚀刻器或灰化器,可满足广泛的蚀刻和灰化需求,从而实现长期可靠性和高性能。该蚀刻器是精密、可重复、高通量性能的蚀刻薄膜和涂层的理想选择。