二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9358695 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一款强大的蚀刻和灰化设备,专为大量生产极细微结构而设计。ONTRAK Kiyo 45采用最先进的蚀刻和灰化技术,可实现极高的精确度和微细分辨率。此外，由于其低温范围和易于维护，它非常适合用于各种工业制造工艺。LAM RESEARCH Kiyo 45能够提供精确、高度均匀的层厚材料，如硅、氮化物、二氧化硅和铝。该系统能够在批量和单片加工模式下运行，即使在很高的物料去除水平下也能提供可靠的蚀刻工艺。蚀刻和灰化是由所选择的蚀刻气体（CF4或SF6）的反应强烈驱动的，设计用于易于使用的单晶片模式操作。凭借其独特的设计，Kiyo 45融合了多种特性，使其在批量处理方面效率极高。它的开放式单元使得它可以方便地访问基板和产生热稳定，精确，均匀蚀刻具有优越的边缘定义。此外，该机器利用多源等离子体，使其能够将惰性气体转化为活性物质进行灰化，这比其他系统能够更快、更均匀。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45还能够提供快速、可重复、可靠的结果,即使在非常高的通量下也是如此。ONTRAK Kiyo 45也是为了方便和相对较低的维护而设计的。LAM RESEARCH Kiyo 45具有易于打开的腔室、用于气体和供应的自动填充程序以及可靠、精确的现场质量流量控制器等特点,使刀具的高效运行变得更加容易。总之，Kiyo 45是一种强大的蚀刻和灰化资产，旨在大规模生产微型结构。它提供精确的蚀刻和灰度即使在非常高的吞吐量，具有极高的精度和分辨率。此外，它设计方便，低维护操作，使其成为工业制造和许多其他工艺的理想选择。