二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9358696 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一款高性能蚀刻器,适用于广泛的应用。设备设计方便操作，让运营商最大限度地提高吞吐量，最大限度地减少停机时间。它为关键蚀刻和灰烬操作提供高分辨率和统一的处理。该系统采用先进的脉冲直流等离子体技术，实现了对蚀刻和灰分过程的精确控制。它具有先进的自动化和安全选项，如自动基片处理和实时监控和控制过程参数。凭借其先进的控制能力，该单元还可用于串联等离子体表面修改。该机器提供各种工艺,包括蚀刻、灰分、蚀刻/灰分/清洁、蚀刻/灰分/清洁和清洁。它可以处理正向或负向光致抗蚀剂的应用。获得专利的E-mechanism为大多数蚀刻应用提供了高蚀刻速率、高均匀性和低圆端轮廓。ONTRAK Kiyo 45配置了一个集成的气箱，用于压板屏蔽处理、优化沉积/蚀刻性能和电子场均匀性。它占地面积小，并配有双卡盘盖，在处理过程中提供出色的卡盘隔离。LAM RESEARCH Kiyo 45利用其先进的控制机器,对温度、压力和压力曲率响应等其它关键参数进行过程监控。为了增强安全性,它配备了多种内置安全功能,例如RF开/关开关、用于机械访问的互锁开关、隔离室和可扩展的紧急停止工具。资产还包括其他功能，如综合远程监测和控制模型、回流能力和氧气/氮气发生器。Kiyo 45被设计为与其他ONTRAK产品兼容，为运营商提供了一个很好的平台来构建。LAMLAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45具有多功能性和强大的功能,是各种蚀刻/灰烬操作的绝佳选择。