二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9375193 待售
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ID: 9375193
优质的: 2007
Metal etcher
(2) Chambers (PM2, 3)
With (2) Strips (PM1, 4)
MF (EFEM/TM):
Platform type: V2
(3) BROOKS 002-7200-32 Load ports
BROOKS 138150 ATM Robot
BROOKS 401600-201-0002-FRU TM Robot
EDWARDS EPX180N IPump (Ontool pump)
PM Module (PM1,2,3,4):
(3) MOTORORA CPU
(2) LAM RESEARCH 810-046015-009 VIOP
(2) LAM RESEARCH 810-099175-103 VIOP
(2) LAM RESEARCH 605-707109-001 Engenuities
(2) LAM RESEARCH 605-707109-012 Engenuities
(3) LAM RESEARCH 810-495659-303 ESC Power supplies
OCEAN OPTICS 685-801852-005 OES
OCEAN OPTICS 685-069171-002 OES
MKS 797-004456-003 VODM
MKS 797-00456R005 VODM
(2) MKS AX7695 Revolution
(2) LAM RESEARCH 839-014090-374 ESC
Gas configuration:
IGS Gas box
(17) Gas lines
(20) HORIBA SEC-Z313M Gas box MFC
(3) HORIBA SEC-Z719MGX Gas box MFC
(9) HORIBA D219-SCT Gas box MFC
(2) MKS 649A-25014 He UPC
Strip gas:
(2) HORIBA SEC-Z313M Gas 3 Ar(2000)
(2) HORIBA SEC-Z313M Gas 2 O2(5000)
(2) HORIBA SEC-Z313M Gas 1 N2(1000)
Components:
(2) MKS E28B-23747, 31802 Process gauges
(2) MKS 625A-14059 Chamber gauges
HPS 109070019-CE TM vacuum gauge
(2) TELEDYNE HPM2002-OBE-LM Air lock vacuum gauges
(2) EDWARD STP-XA2703CV Turbo pumps
(2) EDWARD SCU-1500 Turbo pump controllers
RF Gen / Matcher:
APEX APEX1513 BIAS RF Generator
APEX PARAMOUNT1513 BIAS RF Generator
APEX APEX1513 TCP RF Generators
APEX APEX2013 TCP RF Generators
LAM RESEARCH 832-038915-001 BIAS RF Matcher
LAM RESEARCH 832-038915-203 BIAS RF Matcher
LAM RESEARCH 853-034908-200 TCP RF Matcher
LAM RESEARCH 853-043759-401 TCP RF Matcher
LAM RESEARCH 834-036619-011 BIAS RF Cable
LAM RESEARCH 684-111962-001 BIAS RF Cable
LAM RESEARCH 834-036619-020 TCP RF Cable
LAM RESEARCH 834-036619-021 TCP RF Cable
2007 vintage.
LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一款功能强大的底物蚀刻器/asher。它被设计为一种单晶片工具，允许在常规晶片制造中进行精确和精确的蚀刻和灰化过程。它配备了高效的双源、多区射频（RF）源,能够同时进行低温灰化和高温蚀刻。这样可以在所有平版印刷过程中实现极好的均匀性和可重复性。该工具还提供了晶片上的图样跨各种基材的出色可重复性。ONTRAK Kiyo 45有一个精密的等离子体过程控制设备，可以在晶圆上进行精确的调谐和均匀性。它使用先进的快门系统，改进了过程控制，并允许有效的晶圆传输。该工具还有一个光学发射光谱仪，它提供等离子体参数的实时监测，允许实时调整蚀刻和灰化过程。LAM RESEARCH Kiyo 45由高品位的不锈钢和铝合金构成，具有高效的冷却单元，允许在蚀刻和灰化过程中使用低温。该工具采用了最新的高性能涡轮泵真空技术，具有出色的泵送速率和低噪声水平。它还具有3杆插座射频电源和单独的变频低频电源。Kiyo 45有一台基于PC的控制机器，带有现代化的GUI，允许远程控制和监控。该工具提供诸如腔室压力、射频功率、气流和温度等工艺参数。它还具有高级监控和诊断功能以及资产安全警报。LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45的设计是为了在蚀刻和灰化过程中实现最佳的生产率和可重复性。它是任何光刻应用的可靠而有力的工具。凭借其坚固的结构和尖端技术，即使采用更具挑战性的材料也能提供最佳效果。
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