二手 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9379095 待售

LAM RESEARCHY/ONTRAK Kiyo 45是一种高斯asher/etchant工具，在一个设备中结合了先进的蚀刻和ashing工艺。它旨在通过中等尺寸的基板进行蚀刻和粉刷，精度高，均匀。该系统配备了高级源代码控制、对全局进程的支持以及许多其他功能。LAMONTRAK Kiyo 45具有高斯等离子体源,它提供可调节的功率、压力和密度,以产生均匀的深度、侧壁以及顶部轮廓蚀刻和灰度作业。该装置是完全可编程的过程标准化和提高基材产量。LAM RESEARCH Kiyo 45还配备了用于控制蚀刻和灰化的自动压力控制（APC）和废气流动结构（EGFS），以确保安全运行。Kiyo 45还具有一个为均匀气体分布而设计的反应室，可确保重复蚀刻和灰化结果，即使在具有复杂几何形状的基板上也是如此。此外,该机器使用先进的气体填充技术和晶圆映射工具来检测过程变化,并确保跨不同产品的一致全局过程。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45也是为了方便维护而设计的。腔室配有升降机构，方便快速晶圆交换，而资产本身则设有触摸屏界面，可方便快捷地更改工艺参数。该模型具有一系列高级功能,例如用于快速流程故障排除的检测套件、集成流程监控和联网功能。总体而言，ONTRAK Kiyo 45是一种先进的蚀刻和灰化设备，设计用于在中小型基材上提供完整、均匀的蚀刻和灰化工艺。它具有各种高级功能,可帮助确保流程稳定性和可重复性,以及易于使用的流程调整和跟踪界面。