二手 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #196518 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一种紧凑的、高性能的、用于基材蚀刻应用的干就地蚀刻解决方桉。该设备能够处理厚度最大为4mm的基板，其精密的软件控制系统提供对工艺参数的高精度控制和可重复性。结合快速循环时间和精密的工艺控制，ONTRAK TCP 9400 SE是底物蚀刻和加工的理想选择。该装置配有气体输送机，能够从两个独立的储层输送氧气和氯气。气体输送工具设计用于在蚀刻过程中向基板提供一致的气体流动。此外,该资产还被设计为易于升级以提供更高的性能。LAM RESEARCH TCP 9400 SE具有两个独立可调、温度可控的工艺卡盘，允许并行蚀刻不同基板以提高吞吐量。热板也可用于基板的均匀加热，而功能齐全的远程访问键盘可以方便地操作模型。此外,设备还包括一个集成的冷却套件,可在工艺周期内提供精确的温度控制。该系统配有一系列集成的附件和工具，包括一个蚀刻探针、清点器和用于精密加工的研磨工具。该单元的数据输出以可视化和可编程格式提供，便于分析和控制过程变量。此外，由于机器的高速闭环控制，它提供了快速的循环时间能力。TCP 9400 SE是一种可靠、通用的蚀刻解决方桉,适用于各种基材蚀刻应用。凭借其高性能和精确控制，可以提高用户的效率和吞吐量。此外，其先进的软件和集成的附件可以方便地访问和控制蚀刻过程。