二手 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #293587268 待售

LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE
ID: 293587268
晶圆大小: 6"
ICP Etcher, 6".
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一款全自动蚀刻器/asher,旨在满足当今半导体生产设施的需求。它以高效、循序渐进的方式对光掩模和其他材料进行精密蚀刻和粉刷。ONTRAK TCP 9400 SE能够处理各种材料,并且在掩模的大小和形状方面具有灵活性。它提供八种不同的掩码配置,包括蚀刻一层、两层或三层的功能,并具有板载模式识别功能以进行对齐。它还提供精确的温度控制和高度可靠的集成过程自动化系统。LAM RESEARCH TCP 9400 SE采用先进的蚀刻和灰化技术,主要目标是清除所有表面的污染物。利用浸没在液体介质中的振荡电极进行蚀刻过程,使用带有等离子体电炬的加热炉室进行灰化过程。蚀刻电极可以调整其位置以达到最佳蚀刻,而火炬可以达到高达2000 °C的温度以快速蚀刻材料。TCP 9400 SE能够使用不同控制器和测量仪器的组合,将蚀刻和灰化参数保持在预设的范围内。温度传感器、位置传感器、压力传感器和流量计用于监视蚀刻和灰化过程的所有元素,以确保精度和一致性。LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE配备了一套全面的软件和硬件增强功能,包括图形用户界面(GUI)、用户定义的过程自动化以及数据日志记录。GUI允许用户轻松定义流程步骤,而用户定义的过程自动化允许用户修改自动化流程步骤以自定义操作。数据日志存储结果,可用于显示趋势和存储流程信息。ONTRAK TCP 9400 SE是大批量处理的理想选择,具有耐用的框架结构和内置的安全和质量保证系统。它经过CE认证,符合最严格的国际标准,以确保一致和可靠的性能。
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