二手 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9099538 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一款用于半导体材料加工的高性能蚀刻器/asher。该工具旨在提供最高级别的精度和可重复性,从而使用户能够为其设备制造过程获得最高的产量和产量。ONTRAK TCP 9400 SE具有先进的可编程激光设备,可确保精确的材料去除特性,以实现所需的设备特性。它配备了一个用于蚀刻的高功率氙激光器和一个用于灰化的低功率激光器，从而使得它既适用于材料蚀刻，也适用于表面灰化。激光系统还配备了精密烧蚀的精密闭环控制单元和优化烧蚀模式的扫描机。该机还提供了多腔室溅射源，在沉积过程中具有更高的精度。这个溅射源配备了铝、铜、钛等各种先进材料，根据用户的应用提供了最好的特性和性能。它还包括一个全自动清洁工具，用于连续清洁蚀刻和灰化过程之间的腔室。多步骤过程支持自动快速快门。LAM RESEARCH TCP 9400 SE 蚀刻器/asher附带集成的晶圆管理资产，允许用户在全自动或手动模式下使用机器。该模型还提供晶圆跟踪和产品跟踪功能,用于整个过程控制。该机器还配备了先进的物料处理设备，能够手动装卸晶片和基板。在系统安全性和可靠性方面,TCP 9400 SE配备了先进的互锁装置以及紧急关机,在发生任何紧急情况时关闭整个过程。此外，还配备了触摸屏用户界面和专用配方管理，方便方便使用。LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一款先进的半导体蚀刻器/asher，专为要求最苛刻的应用而设计。它具有高度精确和可重复的控制系统,可确保用户获得最高级别的设备产量和过程可重复性。它的安全性和用户界面特性使其成为现代半导体制造的高度可靠和用户友好的工具。