二手 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9134003 待售
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ID: 9134003
晶圆大小: 4"-12"
Etcher, 4"-12"
Oxide
Flat wafers
ESC chuck
(1) Chamber
GAS NO GAS NAME MAKER MODEL FULL SCALE
1 02 TYLAN FC-2950MEP5 200SCCM
2 02 TYLAN FC-2950MEP5 10SCCM
3 N2 TYLAN FC-2950MEP5 10SCCM
4 SF6 TYLAN FC-2950MEP5 50SCCM
5 HBR TYLAN FC-2950MEP5 200SCCM
6 CF4 AERA FC-D980C 500SCCM
7 CL2 AERA FC-D980C 200SCCM
8 70%HE+30%O2 AERA FC-D980C 20SCCM
9 HE UNITY 8100Seris 50SCCM
BOARD BOX:
CPU
ADIO#5
ADIO#7
ADIO#8
ADIO#9
ADIO#11
ADIO#13
SERIAL
PRESSURE:
LOCATION MAKE MODEL
CHAMBER CM MKS
TURNEL MKS 625A11TDE
FORLINE MKS 625A11TDE
BACK HE TYLAN CMLA-21
RF GENERATOR MACHER
TOP AE RFDS 1250 R-KIT
BOTTOM AE RFG 1250 MINI
PUMP:
SEIKO SEIKI H2002C
SEIKO SEIKI STP-H200C
PRESSURE CONTROL:
VAT 65048-PH52-ABU2
VAT PM-7
FUNCTION CHECK:
INDEX MOVING
SHUTTLE MOVING
ARM MOVING
PRESSER CONTROL
GAS FLOW TEST
GAP MOVING
RF ON/OFF
ESC ON/OFF
AUTO RUNING TEST.
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一款半自动蚀刻器和asher。它是一种单晶片设备，设计用于广泛的蚀刻、灰化和沉积过程。它有两个气室，每个气室都有独立的流量和温度控制。它还具有一个用于精确晶圆定位的自动基板定心系统以及在一次运行中执行湿法和干法过程的能力。该单元配备了基于PC的高性能控制机器和易于使用的Windows™样式软件接口。可编程流程配方提供了流程设置功能、最多20个用户定义流程的数据存储以及具有大量参数的灵活流程控制。该工具还包括一个监视器条形图，允许用户快速查看流程数据并识别问题。ONTRAK TCP 9400 SE可以处理广泛的基材，包括硅片、光刻面膜、石英和陶瓷。晶圆室最多可容纳400mm、200 mm和150 mm圆形基板。该资产还为铝、多晶硅、钛、硅等材料提供多种蚀刻和灰化反应。该模型包括一个集成的安全联锁设备，以提供最大程度的保护。它还包括一个端点检测子系统（EDS）,帮助操作员监控基板损坏,以及一个快速冷却子系统（FCS）,帮助防止蚀刻过程中的热损坏。该系统为各种蚀刻和灰化应用程序提供了卓越的性能。其高性能控制器和软件使自动化处理变得快捷易用。该设备还为操作员和基板提供出色的安全特性和保护。所有这些功能使LAM RESEARCH TCP 9400 SE成为工艺工程师的绝佳选择。
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