二手 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9181362 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是为半导体制造而设计的最先进的蚀刻器/asher。它提供了单端三轴机械运动设备，用于精确和可重复的蚀刻和灰烬处理。ONTRAK TCP 9400 SE能够实现比传统圆形蚀刻系统更大的开放面积因子（OAF）蚀刻,从而减少了所需的重新涂层数量。LAM RESEARCH TCP 9400 SE最多可做两微米蚀刻，可以精确蚀刻各种晶圆尺寸，从150毫米到300毫米。TCP 9400 SE利用ONTRAK专有的MatchMotion技术。MatchMotion技术是一个软件系统，在蚀刻过程中协调所有三个轴，消除错位，减少频繁重新校准的需要。该单元还利用PatchMotion技术为特定应用程序创建编程的优化蚀刻。它还与MaskAdapt算法兼容，以最大限度地提高半导体器件制造的吞吐量。LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE允许精确控制蚀刻工艺，这在半导体制造中至关重要。该机器使用闭环反馈工具来确保蚀刻精确,并在多个批次上具有可重复的结果。该资产还包括一个实时光学检查功能，可以检测蚀刻过程中的缺陷，允许立即进行校正。此外,ONTRAK TCP 9400 SE可配置为各种压力、温度和工艺化学,用于各种蚀刻和灰分工艺。LAM RESEARCH TCP 9400 SE除了精确度和精确度外，更是为了最大效率和方便而设计。该型号的自动卡带到卡带功能允许在无需人工干预的情况下处理多个晶片。它还具有一个集成的排气设备，以保持工作区域无有害的烟雾。此外,系统还配备了多种模具配置,并配有一整套诊断工具,便于维护和设备优化。总之，TCP 9400 SE是一种设计用于半导体制造的可靠且用途广泛的蚀刻器/asher。它提供了一个单端三轴运动机器，使精确，可重复蚀刻和灰化过程。它还包括MatchMotion和PatchMotion技术、MaskAdapt算法、光学检查、自动卡带到卡带功能以及一整套诊断工具等功能。LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是半导体器件制造的理想解决方桉。