二手 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9223304 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一种蚀刻器/灰化器,能够对多种行业的材料进行关键蚀刻和灰化操作。它独特的设计是为实现成本效益和可扩展性而设计的,因此可以用于许多不同的应用程序。本机具有高速晶圆传输设备，在保持过程重复性的同时，能够在高压、低压、蚀刻、灰化操作之间快速循环。ONTRAK TCP 9400 SE减少了耗材的使用量,提高了吞吐量,提供了最大的性能和过程控制。LAM RESEARCH TCP 9400 SE的核心是陶瓷封闭式等离子室设计。这一特性的设计是为了最佳的传热和安全，有效地利用过程气体。陶瓷室保持高度的温度均匀性，以保证快速、可重复的蚀刻操作。为了进一步优化蚀刻性能，这台机器具有集成的过程压力监控，可以进行微调并确保一致性。为确保可重复性和准确性,TCP 9400 SE采用了获得专利的反馈控制系统（FCS）。FCS通过监控晶片上的灯丝电压剖面运行，并根据预设条件自动调整工艺压力和时间。这样,如果在蚀刻过程中晶圆属性发生变化,设备就可以重新获得过程控制。LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE也有数位处理录音机。此工具在每个蚀刻周期中存储所有工艺参数,从而可以为每个处理的晶片重新创建精确的工艺参数。此外,存储在数据库中的过程变量允许进行统计过程控制,并在需要时改进过程。工艺配方软件允许机器存储不同晶圆类型的多个配方并自动执行。还可以存储批量平均数据和处理相关信息。这样便于保存、审查和出口蚀刻日志,以便进行质量控制和质量保证。最后,ONTRAK TCP 9400 SE专为易于使用和维护而设计。它有一个大的前面板显示器，易于使用操作员控制，以允许快速，简单的操作。为了进行维护,所有关键组件都可以从机器外部轻松访问。LAM RESEARCH TCP 9400 SE是一款用途广泛、可靠且可靠的机器,非常适合那些希望在蚀刻和灰化过程中提高生产效率和效率的用户。