二手 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9402508 待售
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ID: 9402508
ICP Etcher
Platform: Alliance 4.1
(2) Chambers
Chamber body: HAA
Aligner
Chuck type: BSR Clamp
Process kit:
Bottom electrode, 6"
QUARTZ Disk
Insulator ring
Gas ring
Liner
WDO, QTZ, HTD ENDPT
Cassette type:
LVCE
RVCE
Chamber oring: Viton
Throttle: STD Pendulum valve
ATH 1600 Turbo pump
STD Foreline
Heater jacket: Silicon rubber
Slot valve assembly with STD
Oring of slot valve: Perfluoroelastomer
Endpoint type: 2CH
RF Generator type:
Top: ADVANCED ENERGY RFDS1250 CE Fast loop
Bottom: ADVANCED ENERGY RFDS 1250 HALO
RF Match TCP: Assy T-match, P/N: 853-032294-002
RF Match bottom: RF Match Assy, P/N: 853-330951-021
Manometer: 0.1T/10T MKS
UPC-8130 He UPC
Gas / He line: STD
He STD dump loop
Gas Panel:
Hook up: Side feed side drop
Side exhaust
Load lock / Cassette:
Load lock type: STD VCE
Load lock Platform: STD With HAA coating
STD Cassette
Anti-static load lock cover finish
Enhanced wafer mapping
Integrated cassette sensor
Loadlock indexer: STD type
Loadlock diffuser: STD type
Wafer slide out sensor
Transfer chamber:
MAG 7 Robot
Robot Blade: STD With coating
N2 Purge bottom vent
UPC-8310 Buffer ballast
Aligner: STD Type
Front panel:
Stainless cover
(3) Color signal light tower: Red, yellow, green
Umbilical (75 feet):
Controller to mainframe
AC Rack to controller
AC Rack to mainframe
HX Control cable
Heat exchanger hose
Pump cable
Gases:
CL2 100
BCL3 100
CF4 200
O2 1000
Ar 500
(7) STD Gas lines
(7) STD Inter gas lines
(7) Filters
Power supply: 50/60 Hz.
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一种蚀刻器/asher，设计用于处理半导体晶圆、MEMS、MEMS元件和其他电子元件。该设备采用超高真空（UHV）技术，提供卓越的工艺精度和可重复性。它具有200毫米晶圆尺寸、126晶圆负载锁室和100磅（45.45kg）重量容量。UHV设计是一种全自动系统,具有模块化配置,经过优化,可生产大量组件。机器的前端包含过程模块,其中包括等离子体源、目标腔室以及用于创建清洁和受控环境的其他组件。该装置设计用于蚀刻、沉积和清洁操作。蚀刻过程使用高功率等离子体源，以高度精确的方式从基板上去除材料。沉积过程利用源将物料沉积到基材上。腔室系统有助于创造清洁、纯净和稳定的工艺环境，最大限度地减少颗粒污染和与污染有关的缺陷。TCP 940 SE的腔室机设计灵活，容许不同的製程压力，最高可达400 °C的温度。资产的自动化控制工具可以方便地进行定制和基于配方的自动处理。其先进的控制模型确保了准确的结果和最大的吞吐量。ONTRAK TCP 9400 SE是MEMS制造、医疗设备制造等精密应用的绝佳选择。它具有等离子体加工的最新技术，具有可靠、可重复的性能、提高的工艺精度、低内部污染和高产等优点。
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