二手 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9412757 待售

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一款先进的蚀刻/灰化设备,设计时考虑到了要求最苛刻的应用程序。ONTRAK TCP 9400 SE是一种基于专利的三室闭环工艺的脉冲等离子体源。其革命性的车载自动化系统与流程控制软件相结合，实现了高度可靠的流程工具。此蚀刻/灰化单元具有从10毫瓦到500毫瓦的宽操作窗口。它支持包括氯气、氟气和二氧化碳在内的多种气体。可调蚀刻速率，加上可变脉冲不对称性使得它非常适合广泛的蚀刻/灰烬过程。这台机器还采用了专利会聚区室，帮助消除与传统蚀刻系统相关的问题，如边缘损坏、掩模侵蚀和电弧漂移。LAM RESEARCH TCP 9400 SE专为高吞吐量和生产率而设计。开放式体系结构允许优化材料、过程和特征。该工具还支持多种配方，并提供出色的可重复性。它具有直观的工业用户界面，带有液晶触摸屏和图形作业编辑器。智能实时过程调整工具允许在几分钟内优化配方。它还包括一个自动晶圆级诊断资产,用于在模型出现问题之前检测任何模型问题。TCP 9400 SE有几个先进的安全特性，如太阳能电池板和探测腔内泄漏的激光器。它还具有EFEM兼容性,使其能够集成到自动化系统中。设备占地面积小，便于安装维护。LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SE是一个强大的解决方桉,可用于开发涉及蚀刻/灰烬工艺的各种先进技术。它非常适合高精度阵列、接触开口、设备隔离和掩码修复等应用。该系统非常适合需要最先进的蚀刻/灰化设备的客户,具有卓越的可重复性和过程控制。