二手 LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series #9169565 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4000系列是为半导体器件制造而设计的先进等离子体蚀刻器/asher。该设备为硅片等先进材料的高精度制图提供了高度精确、可控的蚀刻工艺。适用于蚀刻金属、多晶硅、二氧化硅、石英、氮化物、介电材料。该系统配备了独立等离子体和蚀刻气体密度等先进特性，以及高端气体输送机制。其集成处理控制软件支持精密配方和原位光学端点检测。Rainbow 4000 Series配备了一个多源、高功率感应耦合等离子体（ICP）源，在过程腔中产生一个均匀的等离子体。它能够产生对密度和功率有精确控制的高密度等离子体。等离子体发电机可通过快速开启和关闭循环提供高达25kW的功率，从而实现高蚀刻速率。高密度等离子体也适用于需要极低含氧物质的过程。彩虹4000还采用了高度可控的气体输送装置。这台机器能够同时输送多达五种不同的气体.根据蚀刻工艺的不同，气体可以包括三种蚀刻物种类，一种钝化气体以尽量减少蚀刻深度的变异性，以及一种清除副产物的净化气体。软开合流量控制保证了恒定的蚀刻室压力和均匀的蚀刻均匀性。该工具还配备了用于精确和可重复过程结果的高级控制器。Rainbow 4000系统提供现场端点检测,以监控蚀刻过程的结束。资产还使用"软着陆"功能,通过自动调整蚀刻过程端点来提高蚀刻一致性。其集成的配方优化和管理模型有助于维护一个稳定、可重复的过程。除了先进的功能外,LAM RESEARCH Rainbow 4000系列蚀刻器/Asher还通过获得专利的高效HEDP气体加热器提供了改进的热管理。该设备还得到LAM RESEARCH全球服务网络的支持，该网络在全球范围内提供技术支持和安装服务。Rainbow 4000系列是高级蚀刻和粉刷工艺的绝佳解决方桉。