二手 LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series #9169566 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4000系列是一款蚀刻器/asher，旨在满足现代半导体器件的苛刻需求。4000系列是专门为半导体工业设计的专用电化学沉积/蚀刻设备。它采用全自动的模块化设计,可实现高效的操作和最大的生产灵活性。该系统采用多种蚀刻技术，包括干蚀刻、反应性离子蚀刻（RIE）、等离子体蚀刻（PIE）和大气压化学蚀刻（APCE）。该装置专门设计用于在半导体基板上进行精密沉积和蚀刻。Rainbow 4000系列使用最先进的过程控制和监控功能来提供始终如一的高质量蚀刻结果。它能够处理各种各样的底物，包括硅、绝缘体上的硅（SOI）和多晶硅。它具有高度可配置性，允许各种蚀刻配方满足特定的工艺要求。虽然它也与微波和直流电（DC）电源兼容，但它主要使用射频功率进行处理。LAM RESEARCH Rainbow 4000系列能够处理复杂的蚀刻过程，需要蚀刻和沉积过程。例如,它可用于在设备的表面上形成金属触点,例如用于互连的触点。它也是其他一般蚀刻应用的理想选择，包括修剪、精细图样和空腔形成过程。Rainbow 4000系列具有多项安全功能,旨在保护人员和设备。它采用了广泛的互锁和保护程序，以便立即识别和解决流程错误和失控情况。该机器还设有一个完整的流程配方数据库和一个远程监控终端。4000系列的设计采用了多种简单、方便的措施。高速机器人技术和可编程性允许快速设置时间、降低维护成本和提高吞吐量。该工具还具有独特的低压电源,可减少通常与蚀刻和沉积过程相关的工件。总体而言,LAM RESEARCH Rainbow 4000系列是一款先进的蚀刻器/asher,可满足现代半导体器件的许多需求。它提供精确的蚀刻和沉积结果，能够处理各种基板，并通过其全面的监测和保护功能确保安全。其直观的设计和用户友好的操作使其成为半导体行业理想的蚀刻解决方桉。