二手 LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series #9169568 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4000系列是一款先进的蚀刻/asher设备，旨在满足最复杂的晶圆处理应用的需求。该系统具有模块化平台,旨在适应任何应用程序,同时提供一致的性能。该单元独特的体系结构允许最多可添加三个附加模块,以实现进一步的可扩展性和多功能性。Rainbow 4000系列配备了Crystal Front Target Assembly （CFTA）,它提供热耦合蚀刻和灰化功能,并对温度和压力进行精确控制。此外,这台机器设计用于可靠的中高批量生产运行,具有先进的运动控制功能,可确保整个晶片表面的均匀性和可重复性。配备两台1.75 kW射频发电机，LAM RESEARCH Rainbow 4000系列能够每分钟执行多达6个晶圆循环的蚀刻，从而提高吞吐量。此外,该工具还利用板载上下文相关软件来适应工艺参数和晶圆特性,确保模块的正确集成和简化操作。Rainbow 4000系列能够精确控制诸如温度、压力、射频功率、灰度时间和蚀刻时间等参数。自动参数控制使该资产非常适合在整个基板表面提供均匀的晶圆均匀性。为了方便晶圆的处理和运输，LAM RESEARCH Rainbow 4000系列采用集成晶圆运输模式设计。该设备具有聚焦室、晶圆处理器和接收器室结合形成柔性晶圆处理系统。这种机构可以处理范围广泛的晶圆大小和形状，以及单面和双面晶圆。该设备采用优化的机器人端部效应器,可确保可靠的操作和精确的晶圆定位。对于洁净室操作,Rainbow 4000系列构建在紧凑的重型框架上,具有减振特性。该平台通过细节识别、直观的触摸屏界面、可靠的联网和机器维护功能等功能设计，便于操作。为确保操作过程中的安全,该工具配备了一套安全功能,包括过温、过压和电磁干扰保护。LAM RESEARCH Rainbow 4000系列是蚀刻和灰化应用的理想工具,可实现高精度、重复性和可靠性。该资产具有多任务处理能力和模块化设计,是市场上最先进的蚀刻/蚀刻系统之一。