二手 LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series #9169569 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4000系列是一个蚀刻器/asher，提供精密等离子体蚀刻和清洁化学蚀刻和灰化技术的组合。该设备具有多种功能,非常适合多个行业,包括半导体、汽车、电信、消费电子、光学和医疗设备制造。Rainbow 4000 Series的设计由两个独立的蚀刻室组成，一个用于化学蚀刻，一个用于等离子体蚀刻，通过同一工艺电路连接。该系统还采用了LAM的HFIC（高频阻抗控制）技术，该技术可以精确控制蚀刻速率、晶圆逐晶圆的修改以及在各种基材上的加工能力。LAM RESEARCH Rainbow 4000系列旨在提供高通量和高产量的化学和等离子体蚀刻。设备的先进、计算机控制的可编程过程参数允许在多个蚀刻批次上进行微调和重现。其先进的Flexi-Etch自动调谐技术进一步增强了工艺控制，允许在广泛的基板上进行蚀刻速率和均匀性优化。在化学蚀刻方面，Rainbow 4000系列包括一台便于零件装载的摆臂转移机和一个采用LAM的Superior RF Bal ECR（射频平衡蚀刻控制）技术的化学蚀刻室，该技术可以精确控制等离子体蚀刻过程的功率、压力、过程化学、冷却和温度均匀性。此外，该工具采用PFPE（基于全氟聚醚的）化学蚀刻化学设计，这是一种生态友好的选择，不需要危险化学品。LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series的等离子体蚀刻室提供高蚀刻均匀性和一致的晶片-晶片-透射。该资产采用先进的边缘蚀刻控制模型和无线圈射频供电设备,以确保均匀性和温度均匀性。等离子体蚀刻室还包括一个内置的级联冷却系统，有助于确保可重复蚀刻速率和更高的产量。为了改进安全和控制,Rainbow 4000系列包括一个高级密码保护访问单元。它还包括一个集成的过程监控中心，一个ESD（ElectroStatic放电）监视器，以及一个功能强大的多终端用户界面。该机器与最新的软件更新完全集成，其封闭的设计降低了噪音水平。LAM RESEARCH Rainbow 4000系列是一款功能强大的蚀刻器/asher工具,集成了高级功能,旨在获得最佳性能和生产产量。它的两个蚀刻室、对工艺参数的精确控制以及工艺监控能力，使其成为需要化学和等离子蚀刻工艺的行业的完美解决方桉。