二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #293595657 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4400是一款先进的蚀刻器/asher，设计具有针对多种材料的卓越工艺能力；从玻璃到GaAs。它具有易于接近的负载/卸载检修托架和低温操作的绝缘真空室。腔室支持两个集成的、可单独配置的高功率多频源和三个无功源面板，允许低温制作各种材料；从厚膜到硅片。该设备的集成气体输送系统和一系列先进的工艺控制功能，可以对所有蚀刻和灰化工艺参数进行精确控制。Rainbow 4400利用强大的数据库服务器来管理所有流程配方,从而确保最高级别的可重复性和可重复性,以及错误和警告预防。数据库服务器还包含许多预定义的配方步骤,从而限制了对用户配置和手动设置敏感流程参数的需求。LAM RESEARCH Rainbow 4400利用了多台先进的射频发电机，包括双极射频发电机、850兆赫射频发电机、13.56兆赫射频发电机和6.78兆赫射频发电机。这些发电机能够提供20 MHz至1 GHz范围内的频率，以及提供脉冲调制、相位控制和双相技术，以优化过程性能。该装置还具有先进的控制能力，允许精确的过程控制，能够控制过程气体、基板温度和射频功率水平。Rainbow 4400通过提供各种级别的自动化功能,可快速适应不断变化的流程要求。一个自动基板装卸模块以及一个自动终点检测机，有助于尽量减少所需的人工干预；确保高效和可重复的生产。符合人体工程学的设计确保了用户的适当安全和舒适性,并为维护提供了方便的访问性。LAM RESEARCH为LAM RESEARCH Rainbow 4400提供全面的服务和支持选项,包括在线技术支持、综合手册和产品文档,以及操作员培训和持续维护计划。Rainbow 4400在洁净室和制造环境中运行,提供了卓越的过程控制和可靠性,使其成为一系列生产、研究和开发应用程序的理想选择。