二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #293814660 待售
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ID: 293814660
Etchers
(2) Load stations
(2) Robot arms
(5) ADIO
(2) Mini matches
(2) Upper and lower chamber cooling waters
(6) Gas Lines and MFC (Mass Flow Controllers)
CPU
PCB
SIO
Brake
Gap motor
AC-2 Controller
Control board
Endpoint detector
Load point and shuttle
Chamber heating relay
Heartbeat and mother PCB
Gas panel and interlock
Upper and lower electrodes
BAF Gas distribution plate
Lower chamber ceramic ring
Upper chamber gas line
Manometer (10 Torr)
Throttle valve
He Cooling
Power Supply: 24V, 5V/±15V, 5V/±12V.
LAM RESEARCH Rainbow 4400 Etcher/Asher Process设备是半导体器件制造的开创性解决方桉。该系统利用蚀刻和灰化两种工艺,实现了成本效益高、产量高的设备制造。Rainbow 4400基于感应耦合等离子体(ICP)源,它提供了业界最高的蚀刻速率。集成的过程控制功能使用户能够从蚀刻快速过渡到灰化,从而实现更高效的设备制造过程。此外,该装置还配备了各种选项,以达到最大工艺产量。其中包括高级配方、偏置发电机、灰烬控制模块、端点传感系统和高级诊断。LAM RESEARCH Rainbow 4400提供无与伦比的性能,使产量达到100%。该机提供独特的气体溷合能力,以量身定制等离子体改进设备蚀刻和灰化性能。板载软件允许方便、快速和一致的过程优化。此外,该工具能够执行快速晶圆交换过程,提高用户的工作效率并节省成本。Rainbow 4400拥有直观的用户界面,可轻松设置和操作。该资产配备了多种传感器和控制器,提供实时流程监控、反馈和调整。这些功能确保蚀刻或灰化过程在整个操作过程中保持稳定。最后,LAM RESEARCH Rainbow 4400的维护要求最低,允许延长型号正常运行时间和降低运营成本。该设备还与多个生产设置兼容,确保与现有蚀刻和灰化设备无缝配合使用。这提供了一个高效、通用且经济实惠的设备制造解决方桉。
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