二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #293817738 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4400是一款基于等离子体的asher/etcher设备，设计用于半导体工业。Rainbow 4400能够执行各种蚀刻任务和工艺,从而能够蚀刻各种硅基材料和其他材料。该系统提供了许多功能和好处，如增强的统一性、高工艺和蚀刻率、减少每批晶片和扩大能力。LAM RESEARCH Rainbow 4400能够使用各种气体进行蚀刻，能够通过变频驱动器控制气体输送。此外,变频驱动器还能在蚀刻过程中实现精确的气体控制.该机组还配备了最先进的射频发电机，可提供高达18MHz的射频功率。Rainbow 4400通过具有直观导航的用户友好触摸屏界面进行控制和监控，使用户可以轻松定制机器参数并监控流程进度。内置诊断工具使用户能够快速排除蚀刻过程中出现的任何问题。资产还提供先进的安全功能，如双设定点气体输送控制（GDC）、动态气体安全关闭以及防止有毒气体或颗粒逸出的密封外壳。LAM RESEARCH Rainbow 4400旨在减少停机时间。该型号具有较高的吞吐量，每小时最多可蚀刻40个晶圆批次，批量可达1200个晶圆。由于先进的特性，设备可以处理偶数和奇数形状的晶片，以及大小和厚度各异的晶片。彩虹4400还能够在蚀刻过程后冷却晶片，有助于保持晶片更恒定的表面温度，最大化蚀刻的均匀性。总体而言，LAM RESEARCH Rainbow 4400是半导体行业蚀刻硅基及其他材料的理想系统。这一单元提供了先进的功能，例如可靠的气体输送、对工艺参数的灵活控制以及安全特性。此外,Rainbow 4400可减少停机时间,同时提供高吞吐量和均匀性。