二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #9030525 待售

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ID: 9030525
晶圆大小: 6"
Poly etcher, 6" Cassette to cassette single wafer Classic Clamped with PN 715‐11629‐006 C lower cap electrode 6" installed Optical non‐contact ENI OEM‐650A generator TCU 2080 chiller.
LAM RESEARCH Rainbow 4400是一款蚀刻/asher工具,旨在满足半导体晶圆制造行业的需求。Rainbow 4400提供多种功能,旨在提供精确可靠的蚀刻工艺。该工具提供不同的蚀刻速率,以适应整个过程要求范围。该工具可用于精确蚀刻电介质、金属、聚合物和氧化物。LAM RESEARCH Rainbow 4400采用双淋浴头设计,提高了工艺灵活性。双淋浴头设计具有低压和高压能力,允许更高的蚀刻速率和改进的边缘控制。该蚀刻器还提供多脉冲蚀刻功能,允许对蚀刻工艺进行脉冲调制,并降低工艺温度以提高产品质量。彩虹4400配备了板载粒子计数器,提供对蚀刻工艺及其结果的实时监控。粒子计数器集成到反馈控制环路中,确保达到最高的过程均匀性。此外,该工具还为视觉效果提供了一个显示界面,并且可以远程操作以增强可访问性。LAM RESEARCH Rainbow 4400的设计也考虑到了安全性。该工具提供了完全集成的安全系统,包括环境、过程和软件安全功能。该工具旨在满足或超过最新的安全要求,并已通过UL和CE标准认证。这使操作员能够放心地安全地利用工具的流程。Rainbow 4400是一种蚀刻器/asher,旨在提供精确可靠的工艺功能。该工具具有较高的蚀刻速率、改进的边缘控制、多脉冲蚀刻、集成粒子计数器和实时监控。该工具还提供了完全集成的安全系统、符合UL和CE标准的认证以及远程操作功能。LAM RESEARCH Rainbow 4400为当今的半导体晶圆制造行业提供了一种通用的蚀刻解决方桉。
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