二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #9226087 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4400是一款高性能的蚀刻器/asher,专为高级IC制造和包装应用而设计。Rainbow 4400提供多种工艺能力，具有蚀刻和粉刷材料的能力，包括二氧化硅、氮化硅、聚酰亚胺、多硅酸盐、多胺等等。它结合了一个高通量的高温平台和一个低kV离子束，用于精确的各向异性蚀刻。LAM RESEARCH Rainbow 4400由一个负载锁、一个处理室、一个装载站和一个主机组成。载荷锁允许将基板装卸到加工室，而不必减压。该工艺室由涡轮分子泵排空，允许更高的吞吐量和更快的循环时间。装载站装有基板，并有一组升降机，用于在进行蚀刻时调整基板高度。主机装有电源、射频发电机和用于创建和维护工艺环境的真空设备。Rainbow 4400是一种多功能系统,可配置为在各种工艺配方中执行蚀刻、灰化或两者兼而有之。也可用于进行高长宽比蚀刻和基板深度剖析。该单元最多可容纳8英寸直径的基板,可用于2D和3D蚀刻应用。它还能达到高达800 °C的温度，可用于金属层蚀刻。LAM RESEARCH Rainbow 4400配备了先进的用户界面，方便设置和配方参数优化。它还具有实时显示所有机器参数的功能，包括真空水平和泵速。其远程诊断和维护功能允许LAM RESEARCH客户服务团队提供远程服务和支持。除了先进的蚀刻功能外，Rainbow 4400还提供集成的光学控制工具。此资产允许用户实时监视蚀刻配置文件,从而帮助优化蚀刻过程。这样可以确保正确调整蚀刻参数以达到理想的结果。总体而言,LAM RESEARCH Rainbow 4400是一款功能强大的蚀刻器/asher型号,具有多种功能,非常适合高级IC制造和封装应用。它具有高通量的高温平台,可实现精确的各向异性蚀刻,而其先进的光学控制设备有助于优化蚀刻过程。此外,它易于设置、实时显示系统参数、远程诊断和维护解决方桉,可实现和维护可靠的流程结果。