二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #9402502 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4400 蚀刻器/asher是一种单晶片、平行板蚀刻器/asher，设计用于处理多种基材，包括硅、SiGe等材料。彩虹4400提供向晶片精确输送等离子体和反应性气体，同时严格控制等离子体和气源的浓度和流量。该工艺设备允许对包括MOSFET、MEMS和IC在内的结构进行成本效益高的高级蚀刻。LAM RESEARCH Rainbow 4400配备了两个8英寸井，分别用于两个独立的等离子源和四个端口，用于独立控制反应性气体。它具有高达5 kW的电源，可配置以容纳各种等离子体化学物质。RF和DC可用，最大频率为13.56 MHz。Rainbow 4400可提供5x10-5 Torr的真空级别。LAM RESEARCH Rainbow 4400提供对等离子体的精确控制,允许一致的蚀刻/灰化结果。它可以完全自动化或手动操作,可以灵活地满足客户的需求。此外,Rainbow 4400还采用了专利、低颗粒、高通量的AerosolQuartz®晶圆处理组件,以确保可重复处理。整体而言，LAM RESEARCH Rainbow 4400是一款可靠的蚀刻/粉碎机，用于各种材料加工。结果一致且可重复，价位具有竞争力。它对蚀刻参数的高级控制允许改进MOSFET、MEMS和IC的处理。此外，气溶胶石英晶片处理组件降低了复杂系统的污染风险。