二手 LAM RESEARCH Rainbow 4400B #9169550 待售

LAM RESEARCH Rainbow 4400B是一个高度先进且用途广泛的蚀刻器/asher系统,专为高精度应用而设计。它具有先进的线性RF/DC/TiB等离子体源，能够产生高通量的优越蚀刻效果。它提供了一系列工艺参数和能力，以确保在半导体晶圆、微流体、MEMS和相关设备制造领域的精确和可重复的结果。LAM RESEARCH RAINBOW 4400 B专为各种需要深层或轮廓蚀刻的蚀刻应用而设计。它利用最新的高功率技术来捕获和最大化产量,减少周期时间并提高产品产量。其线性RF/DC/TiB源具有6kW的峰值额定功率,工件温度可达300 °C,温度范围可达180 °C。Rainbow 4400B利用独特的不透明陶瓷基板敏感剂及其先进的等离子体源，可靠地蚀刻各种介电、金属、聚合物和玻璃基板。其先进的控制和安全系统保护用户和蚀刻模式的完整性。它支持多种自动化过程，包括反应性离子蚀刻（RIE）、非反应性离子蚀刻（NRIE）、感应耦合等离子体（ICP）蚀刻和灰化。它能够提供多级配置文件,并且可以产生各种过程结果,例如形状或表单。此外，RAINBOW 4400 B提供了广泛的高级特性和配件，以提高其效率。其中包括可编程真空和气体输送系统、改进流程优化的集成工作站以及用于捕获和验证剖面结果的自动化测量系统。该系统还与多个第三方进程控制器和软件应用程序兼容。LAM RESEARCH Rainbow 4400B具有高精度、多功能性和高级功能,可在广泛的蚀刻应用中提供卓越的性能和可靠的结果。对于那些在生产半导体、MEMS和其他元件方面寻求优越蚀刻效果的人来说，这是一个理想的解决方桉。